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四氟化硅是氣體。四氟化硅是一種無色、有毒、有刺激性臭味的氣體,對眼、面板、粘膜和呼吸道有嚴重損害,其易潮解,在潮溼空氣中可產生濃煙霧,生成硅酸和氟化氫兩種物質。
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