臭氧是氧氣的一種同素異形體，是有魚腥氣味的淡藍色氣體。低濃度的臭氧可以消毒，而高濃度的臭氧會對人體造成極大的危害。當臭氧濃度過高時，會引起咳嗽、呼吸困難及肺功能下降。長時間直接接觸高濃度臭氧的人出現疲乏、咳嗽、胸悶胸痛、面板起皺、噁心頭痛、脈搏加速、記憶力衰退、視力下降等症狀。
臭氧也會使植物葉子變黃甚至枯萎，對植物造成損害，甚至造成農林植物的減產、經濟效益下降等。臭氧能夠較快地與室內的建築材料、居家用品、絲、棉花等製品中所含的有機化合物發生反應，從而造成染料褪色、照片圖像層脫色、輪胎老化等。
但是臭氧應用於煙氣淨化領域具有廣闊的前景：(1)臭氧是一種清潔氧化劑，不會產生二次污染物；(2)它能夠在良好的脫硫脫硝的基礎上，同時實現對汞的高效去除；(3)臭氧對煙氣中氯化物、氟化物、VOCS以及二噁英也有一定的去除能力，它對多種污染物的協同脫除能力是應用到實際過程中最有利的優點。
儘管臭氧法是煙氣淨化領域高效的污染控制方法，但現階段臭氧的製備成本較高，應用技術不夠成熟，限制了該技術的廣泛推廣使用，因此，高效、節能、環保的臭氧發生裝置仍是臭氧法運用的關鍵。
