真空泵用的油是一種專用油，叫作真空泵油。真空泵油是一種專門爲真空設備上的真空泵而研製的潤滑油，分礦物油和合成油兩種。真空泵油適用於往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用於各種擴散真空泵等。推薦用於工藝品、陶瓷、化學等領域的真空泵使用。
不同種類的真空泵油，其物理和化學性能是不同的，其化學成分、粘度、酸值和各種添加劑(抗磨劑、防腐劑、抗氧化劑、防鏽劑)等主要成分和指標直接影響機件的執行，如果混合使用，其性能將會改變，這不僅關係到機件的使用壽命，有時甚至會因潤滑不當而引發事故。
不同種類牌號、不同生產廠家、新舊泵油在一般情況下應儘量避免混用。同一廠家同類質量基本相近產品，或高質量泵油混入低質量泵油仍用於原使用的機器設備；同一廠家同種不同牌號產品在需要調整泵油的粘度等理化性能時可以混用。
一般的泵的說明書上都有推薦的專用泵油，那個是最合適的。沒有的話，可以諮詢廠家。對於普通的機械真空泵，油的選擇是普通的真空泵油。
